Mae glanhau wyneb plasma yn broses lle mae amhureddau a halogion wyneb y sampl yn cael eu tynnu trwy greu plasma ynni uchel o ronynnau nwyol, fe'i cynlluniwyd ar gyfer cymwysiadau amrywiol fel glanhau wyneb, sterileiddio wyneb, actifadu wyneb, newid ynni wyneb, paratoi wyneb ar gyfer bondio ac adlyniad, addasu cemeg wyneb.